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반도체 공정 제어, Virtual Metrology, AI 기반 제조에 관한 기술 인사이트
R2R / APC · 기술 리소스
R2R 기반 APC:
Feedback + Feedforward
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R2R
가상 계측(VM) · 기술 리소스
가상 계측(VM):
계측 공백을 채우고 제어가 끊기지 않게 하는 레이어
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Measured
Predicted
Manufacturing AI · 기술 리소스
왜 PoC는 양산으로 이어지지 않는가
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PoC
Validate
Gap
Production
Sustain
Fab IT · 기술 리소스
팹 전산 시스템 현대화:
구축형에서 이벤트 기반 데이터 플랫폼으로
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Event
Stream
Lakehouse
Serve
APC / TTTM · 기술 리소스
TTTM만으로는 부족하다:
웨이퍼 제조에 APC가 필수인 이유
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TTTM
Baseline match
Reality
Drift remains
APC
Keep in spec
Match first, then control over time
리소스 | 반도체 공정 제어·Virtual Metrology 기술 인사이트