Amfibian™
반도체 공정 제어를 위한 디지털 트윈 플랫폼
현장 노하우와 데이터를 바탕으로 양산 현장의 가상 계측과 공정 제어에 바로 적용할 수 있는 모델을 만듭니다.
How Amfibian Works
Virtual Metrology
측정 전에 공정 결과를 예측합니다
주요 공정 결과의 실시간 예측
계측 대기 없이 제어 의사결정 수행
생산 과정에서 피드백 지연 감소
Run-to-Run Control
공정 파라미터를 자동으로 최적화합니다
Run 단위로 레시피 파라미터 최적화
챔버 간 편차 및 소모품 변화로 인한 드리프트 보정
공정 목표를 안정적으로 유지
Digital Twin Simulation
양산 적용 전, 제어 전략을 미리 검증합니다
실제 팹 환경 기반 공정 시뮬레이션
오프라인 환경에서 안전한 제어 로직 테스트
배포 전 리스크 사전 식별
Core Capabilities
드리프트 보정
챔버 간 공정 안정성 유지
노이즈 데이터에서도 안정적으로 동작
양산에 바로 적용
실제 팹 구조에 맞춰 적용
안정적인 무중단 운영
오프라인 환경에서 사전 검증
양산 전 공정 재현
리스크를 조기에 식별
안전성이 확보된 제품 설계
양산 리스크 최소화
점진적으로 안전하게 적용
24시간 365일 자동 제어
드리프트를 자동으로 감지
수동 튜닝 부담 최소화
팹 전반으로 확장
단일 장비에서 전체로 확장
운영 중단 없이 확장
