用軟體自動化
半導體製程控制
Amfibian 是一套 AI 製程控制軟體，將模型開發、Digital Twin 驗證到量產營運串連成同一個流程。降低製程變異，並自動化工程師過去反覆進行的調校與營運工作。
製程控制，不必每次都從零建置。
Amfibian 已提供建模、驗證、部署與量產營運所需的完整產品功能。依製程與機台需求進行設定，透過 Digital Twin 完成驗證後，即可投入營運。
每當製程或機台改變，都需要重複進行類似的開發與驗證工作。
以現成產品為基礎，將已驗證的方法沿用於後續的產品與機台。
機台愈來愈先進，但製程控制仍常靠工程師手動調整。
新一代設備能更細緻地調整各 zone 條件與製程變數。但如果工程師仍須依賴經驗逐一摸索 recipe，設備擁有的控制自由度就很難充分轉化為實際的製程效能提升。
模型建立不是終點，還要能在量產環境持續運行。
Amfibian 把建模、驗證、量產營運，以及下一個產品與機台的應用串成同一個 workflow。
建立製程關係與控制模型。
利用製程 context 與資料，建立 VM、APC、Profile Control 所需的模型與控制邏輯。
在上線前先驗證。
透過 Digital Twin 確認預期結果與限制條件。
在量產中運行已驗證的控制。
連接生產資料，依客戶定義的核准方式套用控制。
將已驗證的方法重用到下一個產品與機台。
重用製程 context、驗證標準與營運方式，作為下一個產品與機台的起點。
導入之後，客戶要能自行持續營運。
新產品與機台套用、問題處理與資料管理，都能在客戶環境中持續進行。
「每次新增機台或製程，都需要再找供應商來設定嗎？」
客戶工程師可用已驗證的模型結構與設定，直接套用到新產品、機台與製程。
「我們能自己診斷並處理問題嗎？」
可查看模型狀態、主要因子與營運履歷，在現場縮小原因範圍並處理問題。
「生產資料與模型存在哪裡？」
生產資料、模型與營運設定可在客戶的 on-premises 環境中管理。
同時降低製程變異與反覆調整參數。
降低製程變異，也減少反覆的狀態確認、條件調整與新產品導入工作。
降低製程變異
把預測與控制結果回饋到下一個 run，降低目標附近的波動。
減少反覆調整參數
把狀態確認與條件調整交給系統，減少反覆工作。
加快新產品與新機台展開
以已驗證的方法作為新產品與機台的起點。
團隊過往量產營運經驗
* 以上數據來自團隊過往半導體量產營運經驗。
延伸到需要精密製程控制的製造場域。
適用於設備變化、製程變異或反覆手動調整成為問題的製造環境，套用 Amfibian 的建模、驗證與營運方式。
半導體製造
管理 CMP、薄膜沉積、Etch、熱製程等複雜晶圓製程的變異。
功率與化合物半導體
針對 SiC、GaN 等材料系統控制機台間與晶圓間差異。
光電與 MEMS
預測並控制 epi、薄膜、Etch 與微結構製程的均勻性。
太陽能與顯示器
管理大面積、高產能製程的薄膜特性與空間變異。
深入了解製程控制。
使用 AI 的 Fab，
和由 AI 運行的 Fab，
有什麼不同？
整理一個在 PoC 表現良好的模型，要真正長期投入量產還需要哪些條件。
閱讀文章 →導入前常見問題。
AI 會直接修改製程條件嗎？
先確認建議值與預期結果，再依客戶訂定的核准流程套用。自動化範圍也由客戶自行決定。
需要取代 MES、FDC 或既有 APC 嗎？
既有製造系統維持不變。將所需的模型開發、驗證與營運功能，連接到目前收集的資料與營運環境。
資料與模型一定要持續連到外部服務嗎？
不需要。Amfibian 可部署於 on-premises，生產資料、模型與營運設定都能留在客戶環境內。
一起確認目前製程能自動化到什麼程度。
我們會依營運方式與機台條件，檢視可套用的控制範圍與驗證方式。