半導体プロセス
制御を、
ソフトウェアで
自動化する
Amfibianは、モデル開発からDigital Twin検証、量産運用までを一つの流れでつなぐAIプロセス制御ソフトウェアです。工程ばらつきを抑え、エンジニアが繰り返してきた調整と運用作業を自動化します。
プロセス制御を、
そのつど一から
構築する必要は
ありません。
Amfibianは、モデリング、検証、展開、量産運用に必要な機能を標準で備えています。工程や装置に合わせて設定し、Digital Twinで検証してから運用を開始できます。
工程や装置が変わるたびに、同じような開発と検証を繰り返す必要があります。
完成された製品をベースに導入し、検証済みの方法を次の製品や装置にも活用できます。
装置は高機能化している。
それでもプロセス制御は人が調整している。
最新装置はzoneごとの条件や工程変数をより細かく制御できます。しかし、エンジニアが経験に頼ってrecipeを一つずつ探すやり方では、装置が持つ制御自由度を実際の工程性能向上に十分活かせません。
モデルを作って終わりではありません。量産で継続運用します。
Amfibianは、モデリング、検証、量産運用、次の製品・装置への適用を一つの流れでつなぎます。
工程関係と制御モデルを
構築する。
工程コンテキストとデータを使い、VM、APC、Profile Controlに必要なモデルと制御ロジックを構成します。
ライン投入前に検証する。
Digital Twinで期待結果と制約を確認します。
検証済み制御を量産で
運用する。
生産データに接続し、顧客が定めた承認方法に従って制御へ適用します。
検証済み手法を次の製品・装置へ再利用する。
工程コンテキスト、検証基準、運用方法を次の製品・装置への適用に再利用します。
導入後は、顧客自身で運用できることが重要です。
新しい製品・装置への適用、問題対応、データ管理を顧客環境で続けられます。
「新しい装置や工程が増えるたびに、供給元を呼んで設定してもらう必要がありますか？」
検証済みのモデル構造と設定を使い、顧客エンジニアが新しい製品・装置・工程へ適用できます。
「問題を自分たちで診断し、対応できますか？」
モデル状態、主要因子、運用履歴を確認し、現場で原因を絞り込んで対応できます。
「生産データとモデルはどこに保存されますか？」
生産データ、モデル、運用設定は顧客のオンプレミス環境で管理できます。
工程ばらつきと反復調整を同時に減らす。
工程ばらつきを抑え、状態確認・条件調整・新規適用の繰り返し作業を減らします。
工程ばらつきを低減
予測と制御結果を次ランへ反映し、目標周辺の変動を抑えます。
反復チューニングを削減
状態確認と条件調整をシステム化し、繰り返し作業を減らします。
新製品・新装置への
展開を高速化
検証済み手法を新しい製品・装置への適用の出発点にします。
チームの過去の量産運用実績
運用経験
* チームの過去の半導体量産運用経験に基づきます。
精密なプロセス制御が必要な製造工程へ。
装置の変化や工程ばらつき、繰り返される手動調整が課題になっている製造環境に、Amfibianのモデリング・検証・運用方式を適用します。
半導体製造
CMP、成膜、Etch、熱処理など複雑なウェハ工程のばらつきを管理します。
パワー・
化合物半導体
化合物半導体
SiC、GaNなどの材料系で装置・ウェハ間ばらつきを制御します。
フォトニクス・
MEMS
エピ、薄膜、Etch、微細構造工程の均一性を予測・制御します。
太陽電池・
ディスプレイ
大面積・高スループット工程の膜特性と空間ばらつきを管理します。
プロセス制御をさらに詳しく。
AIを使うFabと、
AIで動くFabは
何が違うのか？
PoCで高い性能を示したモデルを、量産で継続運用するために何が必要かを整理します。
記事を読む →導入前によく聞かれること。
AIがすぐに工程条件を変更しますか？
推奨値と予想結果を先に確認したうえで、お客様が定めた承認プロセスに従って適用します。自動化の範囲もお客様が決めます。
MES、FDC、既存APCを置き換える必要がありますか？
既存の製造システムはそのまま維持します。現在収集しているデータと運用環境に、必要なモデル開発・検証・運用機能を接続します。
データやモデルを外部サービスへ常時接続する必要がありますか？
オンプレミス導入が可能で、生産データ、モデル、運用設定を顧客環境内に保持できます。
現在の工程でどこまで自動化できるか、一緒に確認します。
運用方法と装置条件をもとに、適用できる制御範囲と検証方法を確認します。