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Virtual Metrology

測定の前に
工程結果を先に把握します

Virtual Metrologyは、工程・装置・前工程データを利用して、計測がない、または遅れて入ってくる区間の工程結果を推定するAppです。推定結果は、状態判断や後続のProcess Controlにも活用できます。

量産で使い続けられる予測モデルを構築

プロセスエンジニアが工程contextとデータ条件を定義し、Studioでモデルを検証します。その後、Runtimeでモデル状態と結果を継続的に確認します。

01

工程コンテキストから構築

製品・装置・工程条件と、利用可能なセンサー・計測データを反映してモデルを構成します。

02

計測タイミングと

誤差特性を検証

予測精度とあわせて、実運用に必要なタイミング、データの可用性、誤差特性を確認します。

03

推定値を判断と制御へ接続

Runtimeでモデル状態と推定結果を管理し、必要な場合はProcess Controlのfeedback情報として活用します。

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