跳至主要內容
Virtual Metrology

量測前
先掌握製程結果

Virtual Metrology 是利用製程、機台與前段製程資料,推估沒有量測或量測延遲區間之製程結果的 App。推估結果也可用於狀態判斷與後續的 Process Control。

建立能真正長期用在量產的
預測模型

製程工程師定義製程 context 與資料條件,在 Studio 驗證模型後,
於 Runtime 持續查看模型狀態與結果。

01

從製程 context 建立

反映產品、機台、製程條件與可用的感測器與量測資料,建立模型。

02

驗證量測 timing 與誤差特性

除了預測精度,也確認實際營運所需的時機、資料可用性與誤差特性。

03

把推估結果接到判斷與控制

在 Runtime 管理模型狀態與推估結果,必要時作為 Process Control 的 feedback 資訊使用。

← Amfibian Apps