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DOE

用更少實驗,
更快掌握
製程關係

DOE 是讓製程工程師設定實驗變數與範圍,並以有限次數的實驗探索製程關係與有效條件的 App。實驗結果之後可作為 Virtual Metrology 與 Process Control 建模的起點。不使用客戶的實際製程資料,僅使用 Amfibian 提供的合成製程資料。

由製程工程師自行設計、驗證的 DOE workflow

設定實驗目的、變數與限制條件後,在同一個 Studio 環境中分析結果,並連接到下一個建模階段。

01

定義變數與實驗範圍

把操作變數、製程範圍、固定條件與限制放進製程 context。

02

探索有效的實驗組合

不必測試所有可能組合,而是設計出能取得必要資訊的實驗組合。

03

把結果接到下一個模型

把已確認的關係與有效區間作為虛擬量測或製程控制模型輸入。

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