在 Amfibian Platform 中選擇並使用需要的 Apps
DOE、Virtual Metrology、Process Control 是在 Amfibian Platform 中依目的選用的 Apps。
從模型開發到量產營運，用同一套 workflow 連接
在 Studio 建立並驗證模型與控制邏輯後部署到生產環境，
並由 Runtime 持續營運。營運結果與標準會再用於下一次模型開發。
Build
依製程 context 與資料，直接建立所需的模型與控制邏輯。
Validate
透過 Digital Twin 在上線前確認預期結果與限制。
Deploy
將已驗證模型接到客戶量產環境與資料流。
Operate
一邊查看狀態與套用結果，一邊改善模型與營運標準。
用 Amfibian能做什麼？
推估結果、計算下一個生產條件，並連接到持續的量產營運。
推估未量測產品的製程結果
從製程與機台資料推估未量測晶圓或基板的品質值，用於狀態判斷與控制。
計算下一個 run 的生產條件
根據前次結果與目標計算下一片晶圓、lot 或 batch 的條件，變化時重新驗證。
控制晶圓內 profile 與均勻性
對 Multi-zone 機台建立位置結果與 zone 條件的關係，計算符合目標 profile 的條件。
將製程改善連結到商業價值
降低製程變異與反覆工程工作，擴大每位工程師能管理的範圍，並降低對個別資深工程師的依賴。
建立改善良率的基礎
降低製程變異與前段製程傳遞而來的偏差，降低 spec-out 風險並確保 process margin。
一位工程師管理更多產品與設備
減少反覆的模型設定、tuning 與狀態確認，讓有限的資深人力能負責更廣的範圍。
降低對資深工程師個人的依賴
將建模方法、驗證標準與營運政策保留在系統中，使營運與改善能持續進行。
Amfibian
常見問題
Studio 與 Runtime 有什麼不同？
Studio 是建立模型與控制邏輯並進行事前驗證的開發與驗證環境；
Runtime 則將已驗證的結果連接生產資料並在量產中持續營運。
Apps 是什麼？
Apps 是依製程工程師要解決的問題所提供的功能單位，例如 DOE、Virtual Metrology 與 Process Control，
並共用 Studio 與 Runtime 的資料、驗證與營運架構。
需要更換既有 MES、FDC 或 APC 嗎？
既有製造系統可以維持不變，再補上目前資料與營運環境所需的模型開發、驗證與營運功能。