一つのプラットフォームで、
開発・検証から量産運用までつなげます
AmfibianはLab、Studio、Runtimeで構成されます。役割は異なりますが、同じモデル、工程コンテキスト、運用情報を共有します。
Lab
工程データを探索し、実験を設計して、その後のモデリングに必要な根拠を作るための空間です。
Studio
工程contextとデータをもとに、モデルと制御ロジックを直接構築します。Digital Twinで予想結果と制約条件を事前に確認します。
Runtime
検証済みのモデルを生産データに接続して展開します。その後は状態、推奨値、適用結果を確認しながら、量産で運用を続けられます。
必要なAppsをAmfibian Platformで選択して利用できます
DOE、Virtual Metrology、Process Controlは、Amfibian Platform内で目的に応じて選択するAppsです。
モデル開発から量産運用までを一つのworkflowでつなげます
Studioでモデルと制御ロジックを構築・検証した後、生産環境に展開し、Runtimeで運用を続けます。運用結果と基準は次のモデル開発に再び活用します。
Build
工程contextとデータに合わせて、必要なモデルと制御ロジックを直接構成します。
Validate
Digital Twinで期待結果と制約を投入前に確認します。
Deploy
検証済みモデルを顧客の量産環境とデータフローへ接続します。
Operate
状態と適用結果を確認しながら、モデルと運用基準を改善します。
Amfibianで何ができますか？
結果を推定し、次の生産条件を計算して、量産運用につなぎます。
未計測製品の
工程結果を推定する
工程・装置データから未計測ウェハや基板の品質値を推定し、状態判断と制御に利用します。
次ランの生産条件を計算する
前回結果と目標から次のウェハ、ロット、バッチの条件を算出し、変化時に再検証します。
ウェハ内プロファイルと均一性を制御する
Multi-zone装置で位置別結果とzone条件をモデル化し、目標profileに合う条件を計算します。
工程改善を事業価値に
つなげます
工程ばらつきと繰り返し業務を減らし、歩留まりと工程マージンを確保できます。一人のエンジニアがより広い範囲を担当でき、熟練者個人への依存も下げられます。
プロセスマージン ↑
歩留まり改善の基盤を確保
工程ばらつきと前工程から伝わるばらつきを減らし、spec-outリスクを抑えてprocess marginを確保できます。
一人でより多くの製品・
装置を管理
繰り返しのモデル構成、tuning、状態確認を減らし、限られた熟練人材でより広い範囲を担当できます。
熟練者への依存を緩和
モデリング方法、検証基準、運用ポリシーをシステム内に残し、運用と改善を継続できます。
Amfibianの
主な質問
StudioとRuntimeの違いは何ですか？
Studioはモデルと制御ロジックを作成し、事前検証する開発・検証環境です。
Runtimeは検証済みの結果を生産データにつなぎ、量産で運用する環境です。
Appsとは何ですか？
DOE、Virtual Metrology、Process Controlなど、プロセスエンジニアが解決する課題を基準に提供される機能単位です。AppsはStudioとRuntimeの共通データ・検証・運用構造を共有します。
既存のMES、FDC、APCを置き換える必要がありますか？
既存の製造システムはそのまま維持し、現在のデータと運用環境に必要なモデル開発・検証・運用機能を追加できます。
工程でどのような課題
を
抱えていますか？
Amouslyが一緒に
確認します。
最初から購入を決める必要はありません。課題とデータを共有してください。
一緒に方法を探します。