Virtual Metrology

측정 전에
공정 결과를 먼저 봅니다

Virtual Metrology는 공정·장비·이전 공정 데이터를 이용해 계측이 없거나 늦게 들어오는 구간의 공정 결과를 추정하는 App입니다. 추정 결과는 상태 판단과 후속 Process Control에도 활용할 수 있습니다.

예측 모델을 양산에서 계속 쓸 수 있는 형태로

공정 엔지니어가 공정 context와 데이터 조건을 정의하고 Studio에서 모델을 검증합니다. 이후 Runtime에서 모델 상태와 결과를 계속 확인합니다.

제품·장비·공정 조건과 사용할 수 있는 센서·계측 데이터를 반영해 모델을 구성합니다.

예측 정확도와 함께 실제 운영에 필요한 시점, 데이터 가용성, 오차 특성을 확인합니다.

Runtime에서 모델 상태와 추정 결과를 관리하고, 필요한 경우 Process Control의 feedback 정보로 활용합니다.